9月10日,由上海微技术工业研究院建设的8英寸“打破摩尔”研发中试线月启动,空缺了我国微机电系统智能传感器领域缺少小批量中间性试验生产线的空白,力求构建我国芯片产业的自律高效率。微机电系统智能传感器,是一种新型传感器,具备小体积、低成本、集成化、智能化等优点。
在智能手机、可穿着设备、消费类无人机等消费电子产品中,微机电系统智能传感器具备极高“出镜率”,完全每部智能手机最少都有一个微机电系统智能传感器麦克风,高端的智能手机甚至有三个。传感器坐落于整个物联网的基础层,是数据采集的入口,也是物联网的基石。据《2016-2017年中国物联网发展年度报告》表明,目前我国大约60%的传感器倚赖进口,而微机电系统智能传感器完全全部倚赖进口。
中国科协副主席、上海微技术工业研究院创始人王曦院士指出,要挣脱微机电系统智能传感器对进口的相当严重倚赖,构建我国芯片产业的自律高效率,当务之急是要创建自律的8寸研发中试线。8英寸研发中试线厂长游家杰说道,我国微机电系统智能传感器科研实力并不很弱,没研发出有领先产品是因为中试环节经常出现了断档。“研发单位作出的原型器件,无法立刻投入量产线,必需展开小批量中试,把原型器件优化成可以量产的工艺或产品。以前,国内没这样的研发中试线,由于试验量受限,大型代工厂会相接这样的小单,许多科研成果都负于于原型器件。
”游家杰讲解说道,新的竣工的研发中试线,目前规定生产能力是每月生产晶圆3000片左右,后期将超过5000片。“我们可以承托用户从几百片到上千片的生产能力市场需求,小规模订单再行在中试线上产卵,一旦前期市场测试顺利,就可以把大批量订单移往给大型代工厂,开始规模量产。”据介绍,该研发中试线享有高等级微纳加工超净厂房,可全面积极开展传感器芯片领域新工艺、新的器件、新的系统研发和小批量生产。
目前,研发中试线主要专心于微机电系统智能传感器研发,未来将扩展至“打破摩尔”新型非数字、多元化半导体产品技术的创意。
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